超精密加工机目前发展之趋势,除了高速化发展外,最重要的就是高精度的表现,而影响超精密加工的最主要三大要素,就是刀具主轴、工具主轴及传动系统的稳定性。

减少振动

振动是影响加工质量的一大主因,如何降低相关机件的振动源即为超精密加工机设计的主要课题。

振动来自:
(1)切削主轴 (2)传动机构 (3)进给机构 (4)机床本体

而应用在这三大领域的性能提升上,最明显的改善要点即为振动,而液静压轴承技术的应用,主要就是用来解决传统培林(接触式轴承)所产生的微小振动。

延长使用寿命

不论是液静压轴承主轴、液静压轴承旋转工作台、或是液静压轴承线性滑轨,目的都在于透过液静压油膜的非接触特点,来大幅降低金属刚性体接因相对运动所产生的振动与磨耗,因此除了可大幅度提升运转精度,亦可相对提升产品的使用寿命!

提高并稳定精度

液静压轴承技术的主要原理为透过高压的流体,经由特殊设计之油压组件转换为具有高阻尼特性之不可压缩油膜,并在静态情况下即具有一定高强度刚性,可使转动(移动)件悬浮至腔室中间,不论启动、运转及关闭时,永远处于非接触的状态。因此具有高精度、高刚性、高承载力及高寿命等优点。由于静压油膜具有误差平均化的效果,因此主轴的回转精度可轻易达到1μm。

静压技术的优势