超精密加工機目前發展之趨勢,除了高速化發展外,最重要的就是高精度的表現,而影響超精密加工的最主要三大要素,就是刀具主軸、工具主軸及傳動系統的穩定性。

減少振動

振動是影響加工品質的一大主因,如何降低相關機件的振動源即為超精密加工機設計的主要課題。

振動來自:
(1)切削主軸 (2)傳動機構 (3)進給機構 (4)機床本體

而應用在這三大領域的性能提升上,最明顯的改善要點即為振動,而液靜壓軸承技術的應用,主要就是用來解決傳統培林(接觸式軸承)所產生的微小振動。

延長使用壽命

不論是液靜壓軸承主軸、液靜壓軸承旋轉工作臺、或是液靜壓軸承線性滑軌,目的都在於透過液靜壓油膜的非接觸特點,來大幅降低金屬剛性體接因相對運動所產生的振動與磨耗,因此除了可大幅度提升運轉精度,亦可相對提升產品的使用壽命!

提高並穩定精度

液靜壓軸承技術的主要原理為透過高壓的流體,經由特殊設計之油壓元件轉換為具有高阻尼特性之不可壓縮油膜,並在靜態情況下即具有一定高強度剛性,可使轉動(移動)件懸浮至腔室中間,不論啟動、運轉及關閉時,永遠處於非接觸的狀態。因此具有高精度、高剛性、高承載力及高壽命等優點。由於靜壓油膜具有誤差平均化的效果,因此主軸的迴轉精度可輕易達到1μm。

靜壓技術的優勢