台湾精品奖加冕 全鑫精密液静压转台平面磨床SEMICON Taiwan亮相

全鑫精密－高精密液静压磨床专业制造商，拥有独家液静压轴承技术，先进开发之液静压轴承主轴、液静压旋转工作台及液静压滑轨模组，产品皆搭载液静压轴承系统，提供高精度、高品质、低耗损、绿环保的精密加工机。

先前推出全亚洲唯一「宽砂轮液静压外圆磨床」CTS-100，最大特点为可承载300宽砂轮配合图形对话程式可完成15段不同阶差的成形研磨，该机也获2020台湾精品奖殊荣。

全鑫精密副总经理蔡静仪表示，全鑫拥有强大的研发能量，开发脚步不会因此而停滞；为提供客户更多的高精密磨床选择，全鑫精密于2019年推出的全液静压卧式转台平面磨床(GRC系列)，是专为加工精密硬脆材质而生的高精密磨床，以半导体产业为例，在晶圆周边产品研磨应用如陶瓷载具、矽盘、石英等，全鑫研制的转台磨床相对比传统往复式磨床效率高达2倍以上，且静压主轴及转台具超高刚性、高吸振能力以及无磨擦黏滞等特性，可承受偏心与高离心力加工，主轴及工作台旋转精度皆小于1µm，转台负重达10,000KG，同时也具备了高稳定性以及高寿命的特性，可以大幅减少维修成本以及提高机台运作稳定性。

GRC设计时在外观上采用圆柱型板金设计，为提供油雾回收机使用时的最佳吸取效能，以达到绿能环保。在机台的软体采用Mitsubishi及Fanuc触控式面板及人机图形对话式介面，在软体开发上更符合视觉式反应的简易操作，可有效加快操作者熟悉机台的速度，摆脱传统调整转台机构才能达到研磨中凸中凹的效果。在软体的精算补正与线轨微进给精度的规划，可以直接在程式输入达成研磨后的需求，此功能在于相异材质结合的工件研磨或半导体业的陶瓷载具研磨上有很好的辅助成效且大大减少时间成本。

全鑫GRC除了克服传动件主轴与转台的振动外，底座与动柱的变形也是一大关键，GRC采用门型结构设计，优点在于结构刚性比单柱式佳，主轴头采用三角大跨距设计，抗下压研磨反作用力极佳，稳定性相对提升，与台湾现有转台单薄或细长之主轴头设计有很大区隔化。

另外，最大优势在于Y轴轨面与工作台面等高设计，更提升前后运动精度，降低倾斜或变形的缺点；整机采人体工学进行规划设计，提升操作人员作业品质。简易的台面角度调整机构，可进行快速调整。为增加轨道使用寿命，在轨道位置设计置于切削污染区之外，提升优异的防护与清洁效率。整机采用铠甲式护盖，提升切削液与安全防护等级，改善升缩卷帘护罩易破损且无刚性防护能力的缺点。 Y/Z轴采用直结式驱动设计，减少组合公差并提升精度控制能力。